2025年第三季度光刻機概念股財務(wù)費用排行榜如下：上海電氣（601727）的財務(wù)費用總額高達6.35億，張江高科（600895）和興發(fā)集團（600141）分別位居第二和第三，長電科技（600584）、華虹公司（688347）、百川股份（002455）、北方華創(chuàng)（002371）、至純科技（603690）、電氣風(fēng)電（688660）、永太科技（002326）分別進入前十，其財務(wù)費用總額分別排名第4-10名。
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